晶体硅在电子工业中有广泛的应用．工业上生产高纯硅的流程如图1所示：请回答下列问题：（1）二氧化硅与焦炭反应的另一种产物是一氧化碳．该反应的化学方程式为___；（2）蒸馏属于___

　　晶体硅在电子工业中有广泛的应用．工业上生产高纯硅的流程如图1所示：

　　请回答下列问题：

　　（1）二氧化硅与焦炭反应的另一种产物是一氧化碳．该反应的化学方程式为___；

　　（2）蒸馏属于___变化（填“物理”或“化学”）；

　　（3）如图2所示，完成由下列纯SiHCl3制取高纯硅的化学方程式：