石英砂的主要成分为二氧化硅，硅是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料，生产高纯硅的工业流程示意图如图：（1）石英砂与焦炭反应会生成一种无色无味有毒气体，该反应的化学方程式

　　石英砂的主要成分为二氧化硅，硅是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料，生产高纯硅的工业流程示意图如图：

　　（1）石英砂与焦炭反应会生成一种无色无味有毒气体，该反应的化学方程式为___，从氧化还原反应角度考虑，反应中焦炭做___剂；

　　（2）整个制备过程必须达到无水无氧，若在H2还原SiHCl3过程中混入O2，可能引起的后果是___；

　　（3）为了达到绿色化学和节约资源的目的，物质A需要循环使用，A的化学式是___．