硅及其化合物的开发由来已久，在现代生活中有广泛应用．回答下列问题．（1）工业上提纯硅有多种路线，其中一种工艺流程示意图及主要反应如图．发生的主要反应电弧炉Si

　　硅及其化合物的开发由来已久，在现代生活中有广泛应用．回答下列问题．

　　（1）工业上提纯硅有多种路线，其中一种工艺流程示意图及主要反应如图．

　　发生的主要反应电弧炉SiO2+2C 1600-1800℃ .

　　Si+2CO↑流化床反应器Si+3HCl 250-300 .

　　SiHCl3+H2还原炉①还原炉中发生主要反应的化学方程式为___，该工艺中可循环使用的物质为___和___（填化学式）．用石英砂和焦炭在电弧炉中高温加热也可以生产碳化硅，该反应的化学方程式为___．

　　②在流化床反应的产物中，SiHCl3大约占85%，还有SiCl4、SiH2Cl2、SiH3Cl等，有关物质的沸点数据如下表，提纯SiHCl3的主要工艺操作依次是沉降、冷凝和___．

　　物质SiSiCl4SiHCl3SiH2Cl2SiH3ClHClSiH4沸点/°C235557.631.88.2-30.4-84.9-111.9③SiHCl3极易水解，其完全水解的化学方程式为___．

　　（2）氮化硅（Si3N4）是一种高温结构材料，粉末状态的Si3N4可以由SiCl4的蒸气和NH3反应制取．粉末状Si3N4遇空气和水都不稳定．但将粉末状的Si3N4和适量氧化镁在230×1.01×105Pa和185°C的密闭容器中进行热处理，可以制得结构十分紧密、对空气和水都相当稳定的固体材料，同时还得到遇水不稳定的Mg3N2．

　　①由SiCl4和NH3反应制取Si3N4的化学方程式为___．

　　②四氯化硅和氮气在氢气气氛保护下，加强热发生反应，使生成的Si3N4沉积在石墨表面可得较高纯度的氮化硅，该反应的化学方程式为___．

　　③Si3N4和适量氧化镁在230×1.01×105Pa和185°C的密闭容器中进行热处理的过程中，除生成Mg3N2外，还可能生成___物质（填化学式）．热处理后除去MgO和Mg3N2的方法是___．