已知集合A={x∈R|ax2-3x+2=0}，其中a为常数，且a∈R．①若A是空集，求a的范围；②若A中只有一个元素，求a的值；③若A中至多只有一个元素，求a的范围．

　　已知集合A={x∈R|ax2-3x+2=0}，其中a为常数，且a∈R．

　　①若A是空集，求a的范围；

　　②若A中只有一个元素，求a的值；

　　③若A中至多只有一个元素，求a的范围．