半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说:硅烷,笑气,氯化氢-查字典问答网
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来自崔金强的问题

  半导体行业使用的气体具体用途是什么比如说:硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.先谢谢一楼的回答,我只需要知道哪些气体用于哪些行业

  半导体行业使用的气体具体用途是什么

  比如说:硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.

  先谢谢一楼的回答,我只需要知道哪些气体用于哪些行业就可以,比如说哪些用在太阳能板,哪些用在LED或者电子元器件,

1回答
2020-02-10 15:10
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程蒲

  做Si集成电路的fab里,你列举的这些都用的到.

  硅烷和笑气,长氧化硅时候用.

  HCL:清洗wafer的时候用.

  CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用.

  SF6:蚀刻Si的时候用.

  其他还有BCl3,Cl2,Ar差不多都是蚀刻的使用.

2020-02-10 15:14:43

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