【芯片是计算机的心脏，制造计算机的芯片需要大量的高纯硅，生产高纯硅的主要原料是石英砂（主要成分为SiO2）．二氧化硅既不溶于水，也不溶于一般的酸溶液，工业上生产高纯硅的主要流】

　　芯片是计算机的心脏，制造计算机的芯片需要大量的高纯硅，生产高纯硅的主要原料是石英砂（主要成分为SiO2）．二氧化硅既不溶于水，也不溶于一般的酸溶液，工业上生产高纯硅的主要流程如图所示．

　　请回答下列问题：

　　（1）写出上述流程中由石英砂制取高纯硅的有关化学方程式：①___；②___；③___

　　（2）在整个制备过程中必须达到无水无氧，若在H2还原SiHCl2过程中混入O2，可能引起的后果是___．为了达到乐色化学和节约资源的目的，物质A需要循环使用，若“物质A”用水吸收，可得副产品（一种常见的酸）的名称是___

　　（3）作为制造计算机芯片所用高纯硅原料的石英石（沙子）．纯度要求高，需要对普通沙子（含有少量的CaCO3、Fe2O3）进行提纯，其中用酸洗（用盐酸）和高纯水洗是两个最重要的步骤，请写出用酸洗步骤中的两个反应的化学方程式分别是___、___．