晶体硅是一种重要的半导体材料，工业上晶体硅的制备流程如下：石英①高温粗硅②Cl2450-500℃③精馏高纯SiCl4④H2高温高纯硅在高温条件下，粗硅中的杂质硼、铝、铁、磷等均能与氯气直接

　　晶体硅是一种重要的半导体材料，工业上晶体硅的制备流程如下：

　　石英①

　　高温粗硅②Cl2

　　450-500℃③精馏

　　高纯SiCl4④H2

　　高温高纯硅

　　在高温条件下，粗硅中的杂质硼、铝、铁、磷等均能与氯气直接反应生成相应的氯化物．

　　有关物质物理性质：

　　物 质SiCl4BCl3AlCl3FeCl3PCl5沸点/℃57.712.8-315-熔点/℃-70.0-107.2---升华温度/℃--180300162请回答下列问题：

　　（1）写出工业上获得粗硅的化学方程式：__ Si+2CO↑

　　_ Si+2CO↑

　　．

　　（2）通过精馏（类似多次蒸馏）可得到高纯度四氯化硅，精馏后的残留物中，除铁元素外可能还含有的元素是___（填写元素符号）．

　　（3）用SiCl4与过量干燥的H2反应制备纯硅，为保证制备纯硅实验的成功，除控制好反应温度外，还需确保实验装置中不能混入空气，原因是___．