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  怎么根据硅片重量计算厚度阿

  怎么根据硅片重量计算厚度阿

1回答
2020-05-08 15:47
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孙晓妍

  要看是好多英寸的,还要晓得纯硅的密度(可查).

  若硅片直径d米(1英寸=0.0254米),硅的密度为ρ千克/米³,硅片重m千克,硅片均匀且不考虑定位边的话,那么硅片的厚度h大致为

  h=4m/ρπd²

  如果要考虑定位边,定位边截去的面积为Sd米²,则

  h=4m/(ρπd²-4ρSd)

  h单位是米,网上查得ρ=2.42克/厘米³=2420千克/米³,注意单位转化.

2020-05-08 15:48:48

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