来自丁志群的问题
等离子CVD法是什么
等离子CVD法是什么
1回答
2020-05-08 12:25
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田婉逸
微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜.在真空条件下采用氢气刻蚀二氧化硅形成硅膜,用微波等离子化学气相沉积法在玻璃上生长金刚石薄膜,并用X射线衍射、Raman光谱和光电子能谱对石英玻璃上的金刚石薄膜进行分析...
2020-05-08 12:26:08
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